MOVPE法によるサファイア基板上へのm面GaNの成長

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概要

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• 松下電工R&D企画室の論文

著者

• 椿 健治

  BEANSプロジェクト

• 椿 健治

  独立行政法人理化学研究所:パナソニック電工株式会社

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