スマートマイクロセンサの研究開発 (特集 次世代センサー技術の展望)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 1116 自動位置決めによる表面実装素子のウェハレベル搭載技術と無線駆動マイクロセンサデバイスへの適用(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- シリコン技術
- 423 高密度集積化に適した表面加工型マイクロ流体集積回路の形成と評価(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 2120 流体アナログ集積回路の能動素子として機能する垂直加工型シリコンマイクロバルブの形成(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 3321 埋め込み応用を目指したシリコンMEMS変形計測センサ(J26-4 マイクロメカトロニクス(4),J26 マイクロメカトロニクス)
- 1-05P-35 エピタキシャルPZT薄膜を用いた圧電型MEMSトランスデューサアレイの作製(ポスターセッション 1)
- 高温用SOI型圧力センサ
- スマートマイクロセンサの研究開発 (特集 次世代センサー技術の展望)
- ジメチルエチルアミンアランを用いたSi基板上へのAl2O3薄膜のヘテロエピタキシャル成長
- ジメチルエチルアミンアランを用いたSi基板上へのAl膜のエピタキシャル成長