超高密度100GB光ディスク原盤の形状評価装置の開発--原子間力顕微鏡と光ディスク評価装置を一体化
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概要
著者
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富永 淳二
産業技術総合研究所近接場光応用工学研究センター
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富永 淳二
産総研近接場光応用光学セ
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桑原 正史
(独)産業技術総合研究所 近接場光応用工学研究センター
-
本間 克則
セイコーインスツルメンツ(株)rdセンター
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桑原 正史
産業技術総合研究所電子光技術研究部門
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