技術論文 高品質SIMOX(Separation by Implanted Oxygen)ウェーハ技術 (シリコンウェーハ特集)

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概要

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• 新日本製鉄の論文

著者

• 長竹 洋一

  ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部SOI/SIMOXグループ

• 松村 篤樹

  ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi Simoxグループ

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