窒素ドープ結晶利用によるSIMOXウェーハの高品質化
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 2004-01-15
著者
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川村 啓介
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi/simoxグループ
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高山 誠治
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi/simoxグループ
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佐々木 勉
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部SOI/SIMOXグループ
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前田 哲男
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部SOI/SIMOXグループ
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長竹 洋一
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部SOI/SIMOXグループ
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松村 篤樹
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部SOI/SIMOXグループ
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