技術論文 Separation by Implanted Oxygen(SIMOX)ウェーハの電気特性評価 (シリコンウェーハ特集)
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概要
著者
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川村 啓介
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi/simoxグループ
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川村 啓介
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi Simoxグループ
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松村 篤樹
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi Simoxグループ
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