松村 篤樹 | ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi Simoxグループ
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概要
関連著者
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松村 篤樹
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi Simoxグループ
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長竹 洋一
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部SOI/SIMOXグループ
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川村 啓介
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi Simoxグループ
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川村 啓介
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi/simoxグループ
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佐々木 勉
天理よろづ相談所病院腹部一般外科
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佐々木 勉
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部SOI/SIMOXグループ
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高山 誠治
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi Simoxグループ
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佐々木 勉
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi Simoxグループ
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長竹 洋一
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi Simoxグループ
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前田 哲男
ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部soi Simoxグループ
著作論文
- 技術論文 Separation by Implanted Oxygen(SIMOX)ウェーハの電気特性評価 (シリコンウェーハ特集)
- 技術論文 高品質SIMOX(Separation by Implanted Oxygen)ウェーハ技術 (シリコンウェーハ特集)
- 窒素ドープ結晶利用によるSIMOXウェーハの高品質化(バルク成長分科会特集-最先端デバイスと科学技術-)