長竹 洋一 | ワッカー・エヌエスシーイー(株)技術本部SOI/SIMOXグループ

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• 長竹 洋一

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• 松村 篤樹

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• 前田 哲男

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著作論文

• 窒素ドープ結晶利用によるSIMOXウェーハの高品質化
• 技術論文 高品質SIMOX(Separation by Implanted Oxygen)ウェーハ技術 (シリコンウェーハ特集)
• 窒素ドープ結晶利用によるSIMOXウェーハの高品質化(バルク成長分科会特集-最先端デバイスと科学技術-)

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