電子線励起法によるSiの低温表面清浄化と低温エピタキシャル成長 (特集 技術論文)

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概要

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• 三菱重工業の論文

著者

• 広瀬 文彦

  山形大:jst

• 坂本 仁志

  三菱重工業株式会社基盤技術研究所

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