高周波スパッタ-法によるSiO2-MgO系アモルファスの生成とアモルファス化領域 (無機材料の合成を支える技術とその評価<特集>) -- (薄膜作成)

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概要

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• 日本化学会の論文

著者

• 大田 陸夫

  京都工芸繊維大学工芸学部物質工学科

• 福永 二郎

  京都工芸繊維大学工芸学部物質工学科

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