6ふっ化タングステンとシランの混合ガスを用いたタングステン選択成長機構の考察とULSIへの応用

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概要

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• 東芝技術企画室の論文

著者

• 伊藤 仁

  (株)東芝ulsi研究所

• 梶 成彦

  (株)東芝ULSI研究所

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