RHEED振動による蒸発,薄膜融解及び表面拡散の観察-1-GaAs,AlGaAsにおける単分子層蒸発及び選択蒸発 (超格子素子基礎技術<特集>) -- (極薄膜ヘテロ界面の構造と特性評価)

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概要

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著者

• 小島 猛

  電総研

• 太田 公広

  電総研

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