Si基板上にエピタキシャル成長したGaAs層の応力低減

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概要

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• 住友金属工業の論文

著者

• 浅井 孝祐

  住友金属未来研:(現)三菱電機(株)

• 片浜 久

  住友金属未来研:(現)住金シチックス

• 柴 育成

  住友金属未来研:(現)横河電機(株)

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