SC-7-4 5μm-thick GaAs/Siウエハの開発と電子デバイスへの応用

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概要

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• 2000-09-07

著者

• 浅井 孝祐

  住友金属未来研:(現)三菱電機(株)

• 片浜 久

  住友金属未来研:(現)住金シチックス

• 藤田 和久

  住友金属未来研:(現)(株)イオン工研

• 柴 育成

  住友金属未来研

• 金尾 寛人

  住友金属未来研

• 金尾 寛人

  住友金属未来研:(現)住友精密(株)

• 柴 育成

  住友金属未来研:(現)横河電機(株)

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