柴 育成 | 住友金属未来研:(現)横河電機(株)

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概要

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関連著者

• 浅井 孝祐

  住友金属未来研:(現)三菱電機(株)

• 片浜 久

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• 柴 育成

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• 金尾 寛人

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• 浅井 孝祐

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• 片浜 久

  住友金属工業(株)未来技術研究所

• 柴 育成

  住友金属工業(株)未来技術研究所

• 金尾 寛人

  住友金属未来研:(現)住友精密(株)

著作論文

• SC-7-4 5μm-thick GaAs/Siウエハの開発と電子デバイスへの応用
• Si基板上にエピタキシャル成長したGaAs層の応力低減
• 不整合転位密度の制御によるGaAs/Siの応力低減(ヘテロエピタキシー機構)

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