片浜 久 | 住友金属未来研:(現)住金シチックス
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概要
関連著者
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浅井 孝祐
住友金属未来研:(現)三菱電機(株)
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片浜 久
住友金属未来研:(現)住金シチックス
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柴 育成
住友金属未来研:(現)横河電機(株)
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藤田 和久
住友金属未来研:(現)(株)イオン工研
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柴 育成
住友金属未来研
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金尾 寛人
住友金属未来研
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浅井 孝祐
住友金属工業(株)未来技術研究所
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片浜 久
住友金属工業(株)未来技術研究所
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柴 育成
住友金属工業(株)未来技術研究所
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金尾 寛人
住友金属未来研:(現)住友精密(株)
著作論文
- SC-7-4 5μm-thick GaAs/Siウエハの開発と電子デバイスへの応用
- Si基板上にエピタキシャル成長したGaAs層の応力低減
- 不整合転位密度の制御によるGaAs/Siの応力低減(ヘテロエピタキシー機構)