液晶用高性能薄膜トランジスタに用いる光酸化とプラズマCVDの積層低温ゲート絶縁膜 (特集 液晶)

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概要

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• シャ-プ技術本部の論文

著者

• 岡本 哲也

  株式会社液晶先端技術開発センター

• 中田 行彦

  シャープ株式会社ディスプレイ技術開発本部:(現)(株)液晶先端技術開発センター第1研究部

• 糸賀 隆志

  シャープ株式会社ディスプレイ技術開発本部

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