a-Si TFT技術開発と21インチTFT-LCDへの展開
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概要
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a-Si TFT-LCD技術の開発競争が激しくなってきている。これらの技術のうち、大型・高精細パネルに適用できるTa低抵抗配線, TFTを小型化するためのn+微結晶Siのコンタクト層への適用、光照射に対するオフ電流増加を抑制するためのイオンドーピングについて述べる。これらの高機能化技術を踏まえて、21インチ大型液晶ディスプレイを開発した。これは、現在世界最大サイズの液晶ディスプレイである。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1995-02-17
著者
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枅川 正也
シャープ株式会社ディスプレイ技術開発本部
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中田 行彦
シャープ
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中田 行彦
シャープ株式会社ディスプレイ技術開発本部:(現)(株)液晶先端技術開発センター第1研究部
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金谷 吉晴
シャープ株式会社
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金谷 吉晴
シャープ株式会社tft液晶事業本部
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枅川 正也
シャープ
-
枅川 正也
シャープ株式会社 常務取締役ディスプレイ技術開発本部
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