1E11 ラジカル照射イオンビームスパッタ法による酸化亜鉛薄膜へのアクセプタドーピング

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 1999-10-06

著者

• 鶴見 敬章

  東工大理工

• 大橋 直樹

  東工大

• 大垣 武

  東工大

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