29a-YH-3 回転CVT法による実効的微小重力環境下でのZnSe単結晶成長
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概要
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- 1998-03-28
著者
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藤原 伸介
住友電気工業株式会社 半導体技術研究所
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結石 友宏
住友電気工業(株)cae研究センター
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渡邊 容子
住友電気工業(株)CAE研
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並川 靖生
住友電気工業(株)基板研
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小谷 敏弘
住友電気工業(株)基板研
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