プラズマの基礎
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概要
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Discharge plasma, especially that generated at low gas pressures, is an important application of vacuum technology. This article describes the unique features of low gas pressure plasma, generation of plasma discharge and various plasma parameters. Plasma-wall interaction, which is very important for many plasma-related technologies, is also discussed considering the collisionless sheath model.
- 一般社団法人 日本真空学会の論文
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