FIBシリアルセクショニング／EBSD-DSM法を用いた遮熱コーティングの3次元微視組織評価
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概要
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遮熱コーティング（TBC）のトップコート（TC）層を形成する正方晶部分安定化ジルコニアの結晶方位を同定する新しい手法として，後方散乱電子線回折（EBSD）法を用いた二重スキャニング（DSM）法を提案した。900℃で300時間時効処理されたTBCに対して，EBSD-DSM法と集束イオンビーム加工機によるシリアルセクショニングを組み合わせ，TC層の3次元微視組織の再構築を行った。そしてTC層の結晶粒形状や結晶方位など，3次元微視組織の特徴を明らかにした。スプラット粒は（001）の優先方位を有し，スプラット粒界面に対して垂直であった。
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