慣性力発生装置を用いたアクティブ消振・制振システムに関する研究
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
近年，半導体を製造する露光装置では，半導体パタンの微細化に伴い，床から装置に伝わる振動の許容レベルが小さくなってきている．この環境を実現するため，我々は慣性力発生装置によって振動の原因となる力を直接相殺するアクティブ消振システムの開発を行なってきた．さらに慣性力発生装置にアクティブマスダンパの機能を持たせることによって，制振の効果を同時に実現するアクティブ消振・制振システムの開発を行なった．
- 自動制御連合講演会の論文
自動制御連合講演会 | 論文
- コウモリの飛行制御モデルの解析
- 切換え制御を用いた劣駆動システムの誤差エネルギー領域における切換え則
- Javaによる高炉シミュレータと可視化操業支援
- 静電容量型センサを用いた腹腔鏡下手術用鉗子の負荷力の検出
- フィールドバスを用いた熱プロセスの異常診断:第4報 温水供給プロセスの異常診断