相対加速度の積分信号を用いた空圧式除振装置の制御
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概要
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許容振動条件の厳しい精密機器には振動外乱を抑制するためにアクティブ除振装置が用いられる。除振装置はアクチュエータとして空気ばねを備えており，圧力特性の線形化を図るために相対位置の微分信号FBを適用した。しかしこの方法は外乱抑圧特性が劣化する。よって相対加速度の積分信号FBを提案する。目的は空気ばねの圧力特性の線形化による低固有値化とセンサノイズが与える外乱抑圧特性の両特性の改善である。まずシミュレーションで圧力特性の線形化を示す。次にセンサノイズが与える影響を比較する。
- 自動制御連合講演会の論文
自動制御連合講演会 | 論文
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