ファジイ推論と独自アルゴリズムによる光軸調整:～DUVレーザーへの応用～
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概要
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対象とする制御系において、入力と出力との間の関数が明確でない場合や、非線形な場合がある。本「職人技的アルゴリズム」はこのような制御環境においても、容易に自動制御を可能にする。さらに、本アルゴリズムは単一入力多出力でも制御可能である。この特長を活かし、深紫外線(DUV)固体レーザー装置の自動光軸調整に応用した例を示す。
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自動制御連合講演会 | 論文
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