免震精密生産施設のアクティブ微振動制御
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概要
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精密生産施設では，微振動問題に対して局所的なアクティブ微振動制御が実用されているが，今後は対処しきれなくなるだろう．また，次世代精密生産施設は免震することが望ましい．本研究では，免震精密生産施設を対象に，建屋をスマート構造とし，免震層にもアクチュエータを装備して，建屋全体の微振動をアクティブ制御するシステムを開発している．本報では実験モデルを製作してアクティブ制御した結果について報告する．
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