圧電素子を用いた顕微鏡ステージの獲得データに基づく位置制御
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概要
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顕微鏡を使用する微細作業などでは，試料の直進動作だけでなく，その任意の点での回転動作が要求される．しかし一般的な顕微鏡ステージはそのような動作ができない場合が多い．そこで本研究では３本の圧電素子を用いて，上記の要求を満たす位置決め機構の開発とその制御をおこなっている．ステージの動作が数式モデルで記述困難なため，実際のステージの動作をデータとして獲得し，それに基づいて制御を実現している．
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自動制御連合講演会 | 論文
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