搭載機器外乱のフィードフォワード制御による空気圧アクティブ除振台の性能向上
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概要
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近年、除振台上でステージなどの装置が駆動するケースが増加し、除振と同時にステージ駆動によって発生する外乱に対する制振性能が求められている。本研究では空気圧アクチュエータを用いたアクティブ除振台において搭載されたステージの加速度・変位によるフィードフォワード制御を従来の除振制御に追加することで制振性能の向上を試みた。
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自動制御連合講演会 | 論文
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