ピエゾ素子とVCMを備えた２自由度除振装置の制御
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概要
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ピエゾ素子を備えた2自由度除振装置に新たにVCMを付加し，速度センサの出力に基づく全状態フィードバック制御を施すことで，床振動の影響を全く受けない完全除振条件を導出した。さらに，速度センサ，ピエゾ素子，VCMのダイナミクスを，同条件に組み入れることにより，実現可能性を検証した。その結果，ピエゾ素子，VCMは現実的な駆動範囲内の応答を示すことから工学的に実現が可能であると結論した。
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