高い電流利得を有するVibrating-Body Field-Effect Transistorの提案
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概要
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In this study, we propose a high current gain Vibrating-Body Field-Effect Transistor (Vertical VB-FET). The device has a specific structure in which drain, channel, and source electrodes of the FET are stacked. Since the current flow direction in the device is perpendicular to the wafer surface, the W/Lc (W : channel width, Lc : channel length) value is increased and improved the properties of Vertical VB-FET. In order to evaluate the dynamic properties, we derived the Lagrange's function and the dissipation function from a resistance-capacitance ladder equivalent circuit. Using these functions, we calculated the transconductance and current gain for a ring structured VB-FET. As a result, the estimated transconductance of the Vertical VB-FET was 1.81×10-2mS, whereas 1.78×10-4mS for the conventional type VB-FET with the same structure dimensions. The current gain of the vertical VB-FET also increased 15 times as large as the conventional one.
- The Institute of Electrical Engineers of Japanの論文
著者
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今本 浩史
BEANSプロジェクト
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今本 浩史
オムロン株式会社
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今本 浩史
オムロン(株)先端デバイス研究所
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西森 勇貴
技術研究組合BEANS研究所 3DBEANSセンター
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植木 真治
技術研究組合BEANS研究所 3DBEANSセンター
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三輪 和弘
技術研究組合BEANS研究所 3DBEANSセンター
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中川 慎也
オムロン(株)マイクロデバイス事業推進本部 技術開発部 デバイスソリューション開発課
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今本 浩史
技術研究組合BEANS研究所 3DBEANSセンター
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久保田 智広
技術研究組合BEANS研究所 3DBEANSセンター
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杉山 正和
技術研究組合BEANS研究所 3DBEANSセンター
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寒川 誠二
技術研究組合BEANS研究所 3DBEANSセンター
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橋口 原
技術研究組合BEANS研究所 3DBEANSセンター
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