霧化気化法による超純水中の微量蒸発残留不純物の測定技術
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
超純水のオンライン水質モニタリングシステムを開発するため, 新しい方式の水質測定技術を提案し, 実験的に検討した.<BR>提案した技術は, 水を高温 (70℃) の清浄空気 (粒径0.1μm以上の粒子を濾過) を用いて, 霧化と同時に気化させ, 蒸発した水滴から生成した微粒子をレーザー散乱式気中微粒子カウンターで計数する.この方法で測定した微粒子の体積を用いて, 不純物濃度 (TS : total solid) を得るものである.<BR>その結果, NaClを不純物に用いることにより, 本技術で蒸発残留不純物を測定できることを実証した.さらに本技術で超純水製造ラインの水質を評価し, 本測定値 (TS) は現状測定値 (比抵抗, TOC, SiO<SUB>2</SUB>) と良好な相関が得られ, また全不純物指標として適することがわかった。
- 社団法人 化学工学会の論文
著者
-
小関 康雄
(株) 日立製作所 日立研究所
-
松崎 晴美
(株) 日立製作所 日立研究所
-
高橋 燦吉
(株) 日立製作所 日立研究所
-
山田 章
(株) 日立製作所 日立研究所
-
江原 勝也
(株) 日立製作所 電機システム事業本部
-
小関 康雄
(株)日立製作所 日立研究所
-
黒川 秀昭
(株) 日立製作所 エネルギー研究所
-
江原 勝也
(株) 日立製作所 日立研究所
関連論文
- LiBr-CaCl_2混合吸収剤を用いた吸収冷凍機の空冷化
- アルミ・銅の風力選別における性能の基礎特性およびその向上
- 風力選別装置の性能特性およびその向上
- 節水型全自動洗濯機のライフサイクルアセスメント
- 家電・OA機器用LCA技法の基礎検討
- 省エネ家電製品のライフサイクルアセスメント
- 超臨界二酸化炭素による高純度生化学物質の分離
- 電気透析槽における網状スペーサーの物質移動促進特性
- 電気透析槽における気泡攪拌の物質移動促進効果
- 電気透析槽電気抵抗に及ぼすスペーサの影響
- 気泡攪拌式電気透析槽内の気液混相流動に関する研究
- 電気透析法の濃度分極に及ぼす気泡攪拌効果に関する研究
- 多段フラッシュ蒸発式海水淡水化装置における鉄スラッジの生成機構
- 高温水中での水酸化鉄粒子からのニッケルフェライト生成速度
- 高温水中での鉄の水酸化物および酸化物粒子とニッケルの複合化挙動 : 鉄の化学形態の影響と鉄水酸化物の脱水反応速度
- 管内流における過冷却度と氷の成長について
- 活性汚泥の沈降性 (SV30およびSVI) に関する一考察
- 高溶存酸素レベルにおける活性汚泥処理特性
- 濃度差蓄冷装置用疎水性多孔質膜の特性評価
- 多段フラッシュ蒸発式海水淡水化装置におけるpHコントロール法によるスケール防止
- 多段フラッシュ蒸発式海水淡水化装置におけるアルカリスケールの生成
- 直接接触型膜蒸留法の熱・物質移動特性
- 全蒸発残留物計による超純水処理プロセス中の有機物の挙動追跡
- 有機物除去特性に基づく高性能超純水製造システムの提案
- TSモニタを用いた16Mbit対応超純水製造装置の水質評価
- 臭化リチウム・塩化カルシウム混合水溶液の傾斜平板吸収熱伝達の研究
- 臭化リチウム・塩化カルシウム系高溶解性混合吸収媒体の研究
- 混合吸収媒体の溶解度増大メカニズムの考察 : LiBr・CaCl2系混合吸収媒体の開発
- LiBr・CaCl2系混合水溶液の水蒸気圧低下メカニズムの考察
- 霧化気化法による超純水中の微量蒸発残留不純物の測定技術
- 高温水中における鉄の酸化物および水酸化物の生成
- 多段フラッシュ蒸発式海水淡水化装置におけるpHコントロールとスポンジボール洗浄の複合法によるスケール防止
- 多段フラッシュ蒸発式海水淡水化装置におけるスポンジボール洗浄法によるスケール防止
- 製品へのLCA実施例--全自動洗濯機
- 馬鈴薯汁液の逆浸透処理特性に及ぼす汁液腐敗の影響
- 逆浸透法による馬鈴薯汁液処理における膜汚染物質の季節変動とその防止
- 逆浸透処理時の馬鈴薯汁液変質防止対策と膜面の化学的洗浄法
- 馬鈴薯汁液処理における逆浸透膜汚染とスポンジボール洗浄効果
- 膜蒸留法における揮発性および不揮発性成分の透過特性
- 無血清培地での液中通気培養に及ぼす細胞保護剤の影響
- 膜蒸留法における熱および物質移動特性
- 膜蒸留法による水蒸気の透過特性
- 超臨界ガスクロマトグラフィによる高度不飽和脂肪酸の分取
- スルホン酸型およびカルボン酸型カチオン交換樹脂の微粒子除去特性の比較
- 粉状イオン交換樹脂を濾過助材とするプリコート式濾過器の濾過機構の検討