有機物除去特性に基づく高性能超純水製造システムの提案
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概要
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超純水製造装置の高性能化を実現するため, 装置の各プロセスでのTS (全蒸発残留不純物) とTOC (全有機体炭素) の除去挙動を実験と試算により検討した.<BR>超純水プロセス系では, TSとTOCの挙動から各要素からの溶出が多いことを推測できた.又一次純水プロセス系では, 活性炭吸着 (AC) のTOC除去率は, 13%と低いが, 後工程の逆浸透 (RO) の除去率を向上させる効果があり, その原因が, ROで除去しにくいTOC成分 (分子量50〜1000程度) がACで除去されたためであることが, 各要素の除去モデルを用いた試算より裏付けられた.Transitional-pore (細孔半径20〜1000A) の多い活性炭とシリカ, アルミナ系吸着剤を併用した有機物除去性能の高い複合吸着塔と, TOC計とTS計により各要素の流量制御機能を有する高性能超純水製造システムを提案した.
- 社団法人 化学工学会の論文
著者
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小関 康雄
(株) 日立製作所 日立研究所
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滝野 和彦
日立プラント建設(株)
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小関 康雄
(株)日立製作所 日立研究所
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橋本 信子
日立プラント建設 (株)
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金子 俊彦
日立機械エンジニアリング (株)
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本間 俊二
日立機械エンジニアリング (株)
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滝野 和彦
日立プラント建設 (株)
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