噴霧熱分解法によるMetal-Metal Oxide半導体微粒子製造
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概要
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本報では, 噴霧熱分解法 (SPM : Spray Pyrolysis Method) により Metal-MetalOxide半導体微粒子を製造することを目的として, 各種金属塩混合水溶液から, 不活性 (窒素) ならびに還元 (窒素/水素) 雰囲気における多成分系複合微粒子製造を行った.製造した微粒子の幾何学特性ならびに組成を, 走査型電子顕微鏡 (SEM), X線回折 (XRD) ならびにエネルギー分散型元素分析 (EDS) により調べ, SPMの反応部雰囲気がそれら微粒子特性に及ぼす影響を実験的に検討した.その結果, 本実験条件においては, 反応部雰囲気が生成微粒子の粒度分布ならびに形状に及ぼす影響はほとんど無く, 組成のみ影響を及ぼすことが確認できた.また, 反応部雰囲気の制御されたSPMをMetal-Metal Oxide半導体微粒子製造方法へ応用することが可能であることが確認できた.
- 社団法人 化学工学会の論文
著者
-
松田 仁樹
名古屋大学大学院工学研究科エネルギー理工学専攻
-
小林 敬幸
名古屋大学エコトピア科学研究所
-
出口 清一
名古屋大学大学院工学研究科エネルギー理工学専攻
-
小林 敬幸
名古屋大学
-
架谷 昌信
名古屋大学
-
出口 清一
名古屋大学理工科学総合研究センター
-
出口 清一
名古屋大学大学院工学研究科 エネルギー理工学専攻
-
松田 仁樹
名古屋大学大学院工学研究科 エネルギー理工学専攻
-
松田 仁樹
名古屋大学 大学院工学研究科
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