非平衡プラズマ反応による塩素, フッ素系ガスの分解挙動に及ぼす共存ガスと in-situ 固体吸収剤の影響

概要

論文の詳細を見る
パルスコロナ放電形式による非平衡プラズマを用いて，窒素雰囲気下における低濃度ハロゲン系化合物ガス（CCl4，SF6，CHF3，CHClF2）の分解実験を行った．プラズマ分解時に生成する遊離ハロゲン種を無機固定化する目的から共存ガスとして水素，また吸収剤として接地電極にアルカリ系固体吸収剤Ca(OH)2を担持させ，ハロゲン系化合物ガスの分解率，有害副生成物の発生挙動に及ぼす影響を調べた．実験結果より，水素を構成原子に有していないCCl4とSF6については，水素を共存させることにより分解率の増加が認められ，その主な副生成物としてHCI，Cl2，HF，F2が確認された．また，プラズマによる分解反応と固体吸収反応の組み合わせにより，本研究で対象とした全ての塩素，フッ素系ガスの分解率は増加するとともに有害副生成物の発生が抑制できることが認められた．固体吸収剤は，プラズマ分解反応で生成した遊離ラジカル種を原位置（in-situ）で吸収・固定化することによって再結合反応を抑制する効果を有するものと考えられた．
社団法人　化学工学会の論文
2002-09-20