Cl, F系ハロゲンガスの非平衡プラズマ分解に及ぼすO_2濃度の影響

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概要

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Wire-in-tube型プラズマ反応器を用いてCl, Fを含有するハロゲンガス（CCl4, CHF3, CHClF2）に対してO2の非平衡プラズマ分解に及ぼす影響について検討した．その結果，反応ガス雰囲気中に酸素が共存することにより，すべてのハロゲンガスの分解率は低下した．CHClF2ガスプラズマ分解において窒素雰囲気下で確認された分解生成物HCl, Cl2, HF, F2, CCl2F2以外に，酸素添加時ではCO2, COF2, COCl2が検知された．一方，陰極壁にCa(OH)2を塗布した反応器を用いることによるプラズマ分解と遊離ハロゲンのin-situ吸収−除去実験より，CHClF2の分解率は増加するとともに，ガス雰囲気に関係なくハロゲン副生成物の生成が抑制された．また，Ca(OH)2の存在の有無に関係なく，酸素濃度の増加とともにCHClF2の分解によるCO2転化率は増加した．
2005-05-20

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