回転型アフターグロー反応槽による多層レジストの成膜
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- トルコ鞍部および傍鞍部背索腫に対する経蝶形骨洞手術
- 同期画像入力による微小繰返し変位の検出法
- レーザ散乱光を用いた距離・すべり複合センサ
- G-4 積層型圧電アクチュエータを用いたレーザ偏向器(光超音波エレクトロニクス)
- 27p-J-15 Cd基底原子と電子の衝突によるCdII励起準位への直接励起断面積の測定 II測定結果
- 27p-J-14 Cd基底原子と電子の衝突によるCdII励起準位への直接励起断面積の測定 I測定方法及び装置
- Benzene DerivativeのF^及びH'核磁気共鳴スペクトルのfine structure : XXIII. 磁気共鳴
- 回転型反応槽で成膜したグラフト重合膜と特性(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 脳下垂体腺腫の石灰化
- 27p-J-16 希ガス準安定原子(He,Ne,Ar)によるMgIIの各準位へのペニング励起面積
- 2a-M-15 Cd^+イオンと電子のCrossed Beam法を用いたCd(II)441.6nmレーザ上下準位への電子衝突励起断面積II : 測定結果
- 2a-M-14 Cd^+イオンと電子のCrossed Beam法を用いたCd(II)441.6nmレーザ上下準位への電子衝突励起断面積I : 測定装置
- 31p-N-10 He-Cd系におけるペニング励起断面積
- 2p-B-5 準安定Ne原子によるCd(II)各準位へのペニング励起割合
- Ar^+イオンレーザーの電子温度 : 量子エレクトロニクス
- 円環放電を用いた光源 : 光
- Time Resolving Spectrum : 光学
- 誘導電圧を用いた紫外用光源の研究 : 光学
- 第2安定領域を利用した高周波四重極質量分析法に対する解析
- A-9 レーザ・プローブによる弾性表面波の伝搬特性測定(一般講演)
- 光学材料のn・l積の温度依存性の測定
- 1-13 レーザ・プローブによる弾性表面波の測定(一般講演)
- 気体放電中の磁気共鳴スペクトル(III) : 光
- 気体放電中の磁気共鳴スペクトルII : 原子分子
- Kerr及びFaraday効果のスペクトル : 原子分子
- 気体放電磁気共鳴スペクトル
- 8p-G-4 Kerr効果スペクトルの理論
- 8p-G-3 Kerr効果のスペクトル
- 共鳴点を含む光囲転スペクトルの理論 : 原子分子
- 誘導ラマン効果の分光学的応用(原子分子)
- 5a-H-9 放電実験用超伝導磁石の試作
- Kerr効果の測定 : 光
- 水銀共鳴線を用いた計測 : 光
- 電磁駆動Fabry-Perot分光器 II : 光
- 電磁駆動Fabry-Perot分光器 : 光学
- 8p-G-5 50GC帯吸収分光装置
- He-Cdレーザーによるクイ打ち測定について
- レーザーを光源としたフリンジン計測 : 光
- 気体レーザー(V) : 量子エレクトロニクス
- 9p-L-3 気体レーザー(III)
- 光学材料のn・l積の温度依存性の測定
- 回転型アフターグロー反応槽による多層レジストの成膜
- アブストラクト
- 格子像投影型非接触小型スリップセンサの開発
- 2a-TB-3 変分法によるHeのエネルギー準位計算における収束の加速
- リモート酸素プラズマを併用したポリシロキサンのレーザ蒸着
- 7a-H-7 陽光柱He-Cd^+レーザプラズマにおけるダブルプローブ測定とエネルギー分布関数
- インコヒーレント照明におけるグレーティングイメージを用いた精密変位測定
- 光励起機械振動の光検出による非破壊検査
- 高分子ゲルレンズ
- 広がるプラズマの新しい応用--プラズマ・プロセス-5-有機薄膜形成への応用
- モアレ干渉法を用いた超精密自動位置決め技術
- 42゜共軸円筒鏡型分析器の製作および動作特性について
- 同軸円筒形イオン源とレジスト薄膜作成
- プラズマ重合多層レジストのドライエッチング
- プラズマ重合多層レジストの効果
- アフターグロー反応槽による多層膜電子線レジストの成膜と特性
- 情報の質と雑音
- He-Cdレーザー励起による窒素Qブランチのラマン散乱断面積の絶対測定
- 7. 有機薄膜形成への応用
- 磁気光学効果を用いた原子前方共鳴散乱分光分析法
- ゼーマン変調原子吸光分析法とその感度特性
- ゼ-マン変調原子吸光分光分析
- マイクロコンピュータ制御の分光器 : グレイコードを用いた波長読み取り
- 回転型反応槽で成膜したグラフト重合膜と特性(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 集束性を利用した42度偏向飛行時間型質量分析計 (第23回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和57年11月,神戸)
- 電子線真空リソグラフィ装置による回転角エンコ-ダの加工 (第27回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和61年11月12日〜14日,大阪)
- 4槽回転型プラズマ成膜現像電子線真空リソグラフィ装置 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- Nontactile slip sensor using method of auto correlation with reflected light signal from object.