酸化タングステンスパッタ膜のエレクトロクロミズム
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概要
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現在, 酸化タングステン薄膜の近赤外吸収はスモールポーラロンによる吸収と考えるのが最も有力である.つまりW<SUP>5+</SUP>-W<SUP>6+</SUP>間の電子の遷移によって光の吸収が起こり, その際格子系の緩和がともなわれるものと考えられている.このW<SUP>5+</SUP>の生成の原因となるものとして, 酸素の不足とプロトンと電子の同時注入がある.Table1の試料aでは作製時にすでに青く着色している.この試料は酸素混合比の少ない条件下で作製したものであって, この着色は酸素不足によるものと解釈される.またこの試料では電気化学的に消色できない理由もこの酸素不足のためと考えられる.<BR>試料bの場合には消色時にわずかに吸収が残るが, これが何に起因しているのか今のところ分っていない.着色過程で取り込まれたプロトンの一部が膜内に残留して, この結果吸収が生じているものと考えられるが, これが活性なプロトンの状態にあるのかこのプロトンの存在が酸素不足を引き起こしているかは現在の所決めることはできない.<BR>比較的高い雰囲気圧力下で作製した試料は, 不活性なプロトンを取り込んだ後に良好なEC特性を示すことがわかった.これは作製時の雰囲気の酸素量が不活性なプロトン量に影響を及ぼしていることから膜中の酸素との反応が重要であろうと思われる.現在赤外吸収の実験を行っており, この不可逆的にプロトンが注入しれた結果膜の構造がどのように変化しているのかの検討を進めたいと考えている.
著者
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喜多尾 道火児
静岡大学電子工学研究所
-
山田 祥二
静岡大学電子工学研究所
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立岡 浩一
静岡大学電子科学研究科
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立岡 浩一
静岡大学工業短期大学部電気工学科
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浦部 和雄
静岡大学電子工学研究所
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立岡 浩一
静岡大学電子工学研究所
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