窒化ガリウムのMBE成長における島形成の基板温度依存性と形態解析
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概要
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Homoepitaxial growth on gallium nitride substrate is simulated by molecular dynamics (MD) method. Crystal growth configuration is evaluated qualitatively according to the atomic configuration and the radial distribution function. Moreover, crystal structure is evaluated quantitatively by considering variance of local atomic density as a monitoring index. As a result, we found that the growth layer is formed two-dimensionally and like film formation when the substrate temperature is high. It is found that the dynamics of crystal growth can be understood from not only variance value but also gradient of temporal evolution of variance.
- 日本材料学会の論文
著者
-
土井 祐介
大阪大学工学研究科
-
中谷 彰宏
大阪大学工学研究科
-
土井 祐介
大阪大学大学院工学研究科
-
中谷 彰宏
大阪大学大学院工学研究科
-
土井 祐介
大阪大学工学研究科知能・機能創成工学専攻
-
中谷 彰宏
大阪大学工学研究科知能・機能創成工学専攻
-
小林 泰典
大阪大学大学院工学研究科知能・機能創成工学専攻
-
中谷 彭宏
大阪大学大学院工学研究科知能・機能創成工学
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