2.原子過程と輻射流体(<小特集>プラズマによる短波長光源研究の進展とその物理)

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概要

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• 現在,実用化に向けた開発が進められている,リソグラフィ用EUV光源の原子過程と輻射流体について議論する.これまでの研究で明らかになった,Snプラズマの特性と,それを解析するための手法について述べ,現在の重要な研究課題と考えられている,高効率化および短波長化の見通しについて述べる.ダブルパルスレーザー照射によって,最適な温度,密度をもつプラズマを生成する可能性について検討する.希土類原子の4d-4f遷移を用いた短波長光源の予測される特性を示す.また,原子過程,輻射流体の観点で,モデリングの課題について議論する.

• 2013-10-25

著者

• 砂原 淳

  レーザー技術総合研究所

• 佐々木 明

  日本原子力研究開発機構 量子ビーム応用研究部門

• 西原 功修

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター:(株)浜松ホトニクス:(有)キャトルアイ・サイエンス

• 砂原 淳

  ロチェスター大学

• 佐々木 明

  日本原子力研究所関西光量子科学研究センター

• 西原 巧修

  阪大レーザー研究センター

• 西原 功修

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

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