有機物・ポリマーのための質量顕微鏡の開発(デバイス・評価,有機デバイス全般・一般)
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概要
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近年有機デバイスの開発が進んでいるが、多くは多層膜・パターニング等の微小構造によりその機能を発現している。成膜の良否、混合比の決定、劣化メカニズムの解析においては、SEMによる観察だけではなく、同等の顕微鏡的観察が可能な成分分析法が必要である。そうしたニーズに堪えるべく、有機物やポリマーの同定能力をもつ質量顕微鏡の開発を進めてきた。本装置では、従来法とくらべ、感度に優れているほか、ポリマーにおいては直接的に構造情報が得られる可能性を示しており、新規な手法としての確立を目指している。本報では、装置の解説ならびに基礎データを示す。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2012-10-10
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