1.12umセル低ノイズ表面照射型導波路構造イメージセンサ : SmartFSI^[○!R](固体撮像技術および一般〜IEDM, SPIE EI, ISSCC特集〜)

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概要

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• 1.12umセルサイズ低ノイズ表面照射型導波路構造イメージセンサ:SmartFSI^[○!R]を開発した。独自の屈曲ライトパイプ構造の採用、画素レイアウトやフォトダイオード部のポテンシャルの最適化等により、BSIを凌駕する量子効率72%の高感度と、読み出しノイズ0.9eleの低ノイズを実現した。

• 一般社団法人映像情報メディア学会の論文
• 2013-03-15

著者

• 渡辺 尚志

  パナソニック株式会社デバイス社半導体事業グループ

• 立川 景士

  パナソニック株式会社デバイス社半導体事業グループ

• 山本 浩一

  パナソニック株式会社デバイス社半導体事業グループ

• 鈴木 繁

  パナソニック(株)セミコンダクター社

• 立川 景士

  パナソニック株式会社 デバイス社 半導体事業グループ

• 山本 浩一

  パナソニック株式会社 デバイス社 半導体事業グループ

• 矢野 尚

  パナソニック株式会社 デバイス社 半導体事業グループ

• 渡辺 尚志

  パナソニック株式会社 デバイス社 半導体事業グループ

• 寺西 信一

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 仙石 直久

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 平田 達也

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 中村 哲也

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 宮川 良平

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 大槻 浩久

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 大野 重幸

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 武田 友胤

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 折笠 憲一

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 網川 裕之

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 荻田 進一

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 森 誉志也

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 佐々木 善満

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 村上 雅史

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 立川 景士

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 山本 浩一

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 渡辺 尚志

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 矢野 尚

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 寺西 信一

  パナソニック

• 渡辺 尚志

  パナソニック(株)デバイス社 セミコンダクタビジネスユニット

• 山本 浩一

  パナソニック(株)デバイス社 セミコンダクタビジネスユニット

• 平田 達也

  パナソニック(株)デバイス社 セミコンダクタビジネスユニット

• 宮川 良平

  パナソニック(株)デバイス社 セミコンダクタビジネスユニット

• 村上 雅史

  パナソニック(株)デバイス社 セミコンダクタビジネスユニット

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