イメージセンサにおけるオンチップ光学系の進化(IEDM特集(先端CMOSテバイス・プロセス技術))

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概要

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• オンチップ光学系は画素縮小やイメージセンサの発展に大きな役割を果たしてきた集光、カラーフィルタリング、特定機能の3つの働きを持ち、それそれについて概観する集光においては、Sma畑SIか112um画素への縮小に成功し、その屈曲ライトパイプのお蔭て、大きな角度依存性を有し、400CRAのレンスを使った薄いカメラか実現できることを示す。

• 2013-01-23

著者

• 渡辺 尚志

  パナソニック株式会社デバイス社半導体事業グループ

• 寺西 信一

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 仙石 直久

  パナソニック(株)デバイス社セミコンダクタビジネスユニット

• 寺西 信一

  パナソニック

• 寺西 信一

  パナソニック(株)デバイス社 セミコンダクタビジネスユニット

• 渡辺 尚志

  パナソニック(株)デバイス社 セミコンダクタビジネスユニット

• 上田 壮彦

  パナソニック(株)デバイス社 セミコンダクタビジネスユニット

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