2台の空間光変調素子を用いたホログラフィックフェムト秒レーザー加工システム : 波長分散補正と偏光ベクトル制御(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般)
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概要
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空間光変調素子に表示された計算機ホログラムを用いたフェムト秒レーザー加工は,ホログラフィックフェムト秒レーザー加工と呼ばれ,高い加工スループットと高い光利用効率を実現する.100fs以下のパルス幅を有するフェムト秒レーザー光源を用いる場合,フェムト秒パルスの広帯域なスペクトル幅に起因するホログラムの波長分散は,サンプル面での集光ビームプロファイルを歪ませ,パルスエネルギーの時空間的な広がりを生じさせる.そのため,波長分散は高精度で高効率なレーザー加工に不適切である.本研究では,波長分散を補正可能な2台の空間光変調素子を用いたホログラフィックフェムト秒レーザー加工システムについて述べる.
- 2012-05-18
著者
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