アダプティブ制御ホログラフィックフェムト秒レーザー加工システム(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般)
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概要
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ホログラフィックフェムト秒レーザー加工は,空間光変調素子に表示された計算機ホログラムにより,フェムト秒レーザーパルスを任意の光強度パターンに整形し,高スループット,高光利用効率なレーザー加工を行う技術である.ホログラフィックフェムト秒レーザー加工において,膨大な数のナノスケール構造物の作製を高精度かつ高効率に行うためには,加工システムのアダプティブ制御が重要となる.本報告では,加工の高精度化や高効率化のために,アダプティブ制御を用いた計算機ホログラムの最適化手法や,光学系の波面収差の補正について述べる.
- 2011-05-13
著者
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