223 六法晶AlNスパッタ薄膜の膜性状と強度特性(微小材料,薄膜,局所応力,応力評価と材料強度,オーガナイスドセッション3)
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概要
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- 社団法人日本材料学会の論文
- 2009-05-22
著者
-
木村 英彦
名古屋大学大学院工学研究科
-
秋庭 義明
名古屋大学大学院工学研究科
-
木村 英彦
豊田中研
-
渡邊 拓也
名古屋大学大学院機械理工学専攻
-
秋庭 義明
名古屋大 大学院工学研究科
-
秋庭 義明
横浜国大 大学院
-
渡邊 拓也
名古屋大学[院]
-
秋庭 義明
横浜国大
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