318 スパッタ銅薄膜内部の残留応力分布評価(残留応力と変形損傷挙動,残留応力の評価と応用,オーガナイスドセッション3)
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概要
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- 社団法人日本材料学会の論文
- 2008-05-23
著者
-
木村 英彦
名古屋大学工学研究科
-
秋庭 義明
名古屋大学工学研究科
-
木村 英彦
名古屋大学大学院工学研究科
-
秋庭 義明
名古屋大学大学院工学研究科
-
秋庭 義明
横国
-
坂上 卓
名古屋大学大学院工学研究科
-
秋庭 義明
名古屋大 大学院工学研究科
-
坂上 卓
名古屋大学
-
秋庭 義明
名古屋大学
-
木村 英彦
名古屋大学エコトピア科学研究所
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