共振駆動型SIDMアクチュエータの小型化に関する研究(強力超音波,一般)
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概要
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Smooth Impact Drive Mechanism(以下SIDM)と呼ばれる圧電アクチュエータでは、これまでソフト系積層圧電素子が用いられてきたが、構造が複雑化してしまうために小型化が困難で、Q値が低いために損失が大きく、発熱しまうためにハイパワーでの駆動が難しいといった問題があった。そこで、ハード系圧電素子の共振を利用したハイパワー化の検討が先行研究において行われた。しかし、この共振型SDMアクチュエータのさらなる小型化、安定駆動、ハイパワー化のためには、振動素子の共振周波数をより厳密に制御する手法の開発が必要不可欠である。そこで本研究では、この振動系に対する等価回路による解析と、設計を行った。
- 2011-12-15
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