102 MEMS機能デバイスによるナノ厚金薄膜の力学特性評価に関する研究(OS-1 薄膜・強度)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-03-16
著者
関連論文
- 426 MHz帯域RF-MEMS共振器の設計開発(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- T0302-2-2 変断面両端固定梁を有する静電駆動MEMS共振器の簡易設計手法の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
- 24・1 マイクロ/ナノ材料力学・破壊力学(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 427 単結晶シリコン材料のピエゾ抵抗物性シミュレーション(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- OS0415 応力印加によるバルクシリコンのバンドひずみとピエゾ抵抗物性への効果(原子スケールモデリングとナノ・マイクロ実験力学(2))
- 636 シリコンナノワイヤーのピエゾ抵抗効果に関する第一原理計算(OS11-1 電子・原子レベルのマルチシミュレーションとその応用)
- 102 MEMS機能デバイスによるナノ厚金薄膜の力学特性評価に関する研究(OS-1 薄膜・強度)