PS15 パルス電着法によるニッケルナノ結晶薄膜の創製と特性評価(ポスターセッション)
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概要
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MEMSに使用される金属薄膜は,結晶の配向性など構造や物性がバルク材料とは大きく変化するため,その機械的特性についてはいまだ多くの不明な点が残されている.そこで本研究では,パルス電着法によりニッケルナノ結晶薄膜を創製する.成膜したニッケル薄膜の結晶構造解析をEBSD法により行い,成膜条件と結晶粒径ならびその配向性を明かにした.ついて,薄膜の力学特性を硬さ試験,引張試験ならびに疲労試験で評価した.その結果,パルス電着法により作製した薄膜は,定電流で作製した薄膜と比べ,硬さは1.7倍に,引張強さは1.4倍となり,結晶の微細化とともに強度が上昇した.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2008-09-16
著者
-
田中 啓介
名城大学理工学部
-
田中 啓介
京都大学工学部
-
田中 啓介
名古屋大学大学院工学研究科機械工学専攻
-
來海 博央
名城大学
-
田中 啓介
名城大学
-
五十川 有紀
三菱重工(株)
-
田中 啓介
岡山県大 大学院情報系工学研究科
-
五十川 有紀
名城大院
-
田中 啓介
名城大
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