KN1-1 ナノ構造の熱物性とMEMSを利用した熱測定(KN1 機械工学分野の「マイクロ・ナノ」)
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概要
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We used metal thin films for both temperature measurements and thermal conductivity measurements. We investigated the decrease of Seebeck coefficients of metal thin film thermocouples (TFTCs), and used them for measurements of temperature distribution at micro-scopic area. We applied the TFTCs to the SThM for developments of temperature measurements. At last we used metal thin film for thermal conductivity measurements as both a micro-heater and a temperature sensor for discussions of thermal conductivity reduction of nano-structured materials.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-10-15
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